臺式掃描電鏡是一種緊湊型、操作簡便的電子顯微設(shè)備，其核心原理與傳統(tǒng)落地式掃描電鏡(SEM)一致，但通過小型化設(shè)計實現(xiàn)了更高的靈活性和易用性，通過高能電子束掃描樣品表面，利用電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(如二次電子、背散射電子、特征X射線等)進(jìn)行成像和分析。
-二次電子(SE)：反映樣品表面形貌信息，分辨率高，適合觀察微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。
-背散射電子(BSE)：與樣品成分相關(guān)，可區(qū)分不同元素的區(qū)域，分辨率約8nm20kV。
-特征X射線：用于元素分析(結(jié)合EDS能譜儀)，可識別樣品中的元素組成。
-電子槍發(fā)射的電子束經(jīng)電磁透鏡聚焦后，通過偏轉(zhuǎn)線圈逐點掃描樣品，探測器收集信號并轉(zhuǎn)換為電信號，通過計算機(jī)生成高分辨率圖像或元素分布圖。
臺式掃描電鏡的使用注意事項：
-樣品必須干燥、無油、無磁，且具有良好的導(dǎo)電性。對于不導(dǎo)電的樣品，要進(jìn)行適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電處理，否則會影響成像效果甚至損壞儀器。
-樣品的尺寸要符合儀器的要求，不能過大或過小，以免影響觀察或無法放入樣品室。
-在操作過程中，要嚴(yán)格按照儀器的操作規(guī)程進(jìn)行，避免誤操作導(dǎo)致儀器損壞。例如，在抽真空和恢復(fù)常壓時，要緩慢操作，避免因氣壓變化產(chǎn)生沖擊而影響儀器內(nèi)部部件。
-各旋鈕、開關(guān)的使用要輕柔，不可用力過猛，以免損壞儀器。
-定期檢查真空系統(tǒng)的密封性，確保無漏氣現(xiàn)象。如發(fā)現(xiàn)真空度下降明顯或無法達(dá)到工作要求，應(yīng)及時查找原因并進(jìn)行維修。
-注意真空泵的運(yùn)行情況，定期更換真空泵油，保持真空泵的良好性能。
-在關(guān)閉電子槍后，要及時關(guān)閉相關(guān)電源，防止電子槍受到意外的電壓沖擊。
-臺式掃描電鏡應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)、無灰塵、無振動的環(huán)境中，避免陽光直射和溫度過高或過低。環(huán)境的濕度一般應(yīng)控制在40~60，溫度應(yīng)保持在20℃~25℃。
-儀器周圍要避免有強(qiáng)磁場、強(qiáng)電場等干擾源，以免影響儀器的正常工作和測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
